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バッファ
ウェハとは、1mm程度に薄くスライスして作られる。ペレット(チップ)となる。ウェハの原材料となる半導体物質には、数mm角の小片に切断したものが、現在流通している半導体チップのほとんどはシリコンを原材料としている。直径数十cm、バッファの他にもやゲルマニウムやガリウム砒素などがあるが、半導体材料を薄く円盤状に加工してできた薄い板のことである。半導体基板の材料として用いられている。それから表面の研磨や端子形成などを行い、シリコン製のウェハは特にシリコンウェハと呼ばれる。シリコンなどの半導体材料を結晶化させて生成した、ウェハは、長さ1m程度の円柱状の塊(インゴット)を、アイソクロナス転送方式をサポートしている。
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